1200℃CVD一體機(jī)
發(fā)布時(shí)間： 2021-04-20 21:06:49 瀏覽次數(shù)：2402
設(shè)備簡介：
NBD-CVD1200系列一體機(jī)采用國際先進(jìn)制造工藝，從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā)根據(jù)人體安全的角度設(shè)計(jì)，控制系統(tǒng)采用先進(jìn)的PLC+觸摸屏操控系統(tǒng)，操作更加簡單方便。溫度控制采用先進(jìn)的PID模糊控制，使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等試驗(yàn)。
| 1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化，使試驗(yàn)方便快捷直觀。 2.配置浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)混氣氣路，可以單獨(dú)設(shè)置氣體流量。 3.精確PID程序多段控制，實(shí)現(xiàn)不同工藝多段溫度時(shí)間監(jiān)控。 4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料，保溫效果極佳。 5.配備機(jī)械泵或分子真空泵，可以實(shí)現(xiàn)不同的真空條件。 | ||||||||||||
產(chǎn)品型號 | NBD-CVDO1200 | ||||||||||||
爐管直徑 | Φ50、φ60、φ80、φ100 (可自選) | ||||||||||||
工作溫度 | ≤1100℃ | ||||||||||||
溫區(qū)選擇 | 單溫區(qū) | 雙溫區(qū) | 三溫區(qū) | ||||||||||
加熱區(qū)尺寸 | 440mm | 200mm + 200mm | 200mm + 400mm + 200mm | ||||||||||
電器規(guī)格 | AC220V 4KW | AC220V 5KW | AC220V 8KW | ||||||||||
升溫速率 | 建議 10℃/min | ||||||||||||
控制系統(tǒng) |
1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。 | ||||||||||||
氣體系統(tǒng)（可選購） | 流量計(jì)類型 | 浮子流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | ||||||||||
管道示意圖 |
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進(jìn)氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | ||||||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min(多量程可選) | 50/100/200sccm(多量程可選) | |||||||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||||||
低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||||||
抽氣速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||||||
進(jìn)排氣口尺寸 | Φ8mm寶塔接頭 | Φ8mm寶塔接頭 | KF16/25 | ||||||||||
極限壓力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | ||||||||||||
高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||||||
抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||||||
真空測量計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | ||||||||||||
極限壓力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||||||
* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746 | |||||||||||||
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- {{item.cat}}
- {{item2.cat}}
- {{ isExpanded[index2] ? '收起' : '更多' }}
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